


XPS-7II便攜式半導體材料氣體檢測儀是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生產的專業(yè)便攜式半導體材料氣體檢測儀,可通過更換傳感器組件檢測多種半導體工藝中使用的有毒氣體。XPS-7II 是一款專為半導體和化工行業(yè)設計的高性能便攜式氣體檢測利器,通過靈活的模塊化傳感器系統(tǒng),為工業(yè)安全提供 “一器多用“ 的專業(yè)保障。其小巧輕便的設計和可靠的檢測性能,使其成為半導體工廠安全巡檢
產品型號:
廠商性質:生產廠家
更新時間:2025-11-17
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XPS-7II便攜式半導體材料氣體檢測儀是日本新宇宙 (New Cosmos Electric) 公司生產的專業(yè)便攜式半導體材料氣體檢測儀,可通過更換傳感器組件檢測多種半導體工藝中使用的有毒氣體。XPS-7II 是一款專為半導體和化工行業(yè)設計的高性能便攜式氣體檢測利器,通過靈活的模塊化傳感器系統(tǒng),為工業(yè)安全提供 "一器多用" 的專業(yè)保障。其小巧輕便的設計和可靠的檢測性能,使其成為半導體工廠安全巡檢、危險氣體泄漏應急響應的理想選擇。
產品定位與核心功能
專業(yè)領域:專為半導體制造、石油化工等行業(yè)的有毒氣體檢測設計
檢測原理:定電位電解式(部分氣體需搭配熱解器)
采樣方式:內置泵吸式(自動吸引式),可遠程采樣
獨特優(yōu)勢:小的便攜式 NF3 (三氟化氮) 檢測器
XPS-7II便攜式半導體材料氣體檢測儀技術參數與性能
參數規(guī)格
尺寸約 215 (W)×75 (H)×100 (D) mm
重量約 1.3kg(含電池)
電源充電式鋰電池,連續(xù)工作約 8 小時
顯示LCD 屏幕,可顯示氣體濃度、報警狀態(tài)、電池電量等
報警方式95dB 蜂鳴器 + 紅色 LED 閃爍 + 振動
防爆等級Ex ia IIC T3 Ga(本質安全型,適用于危險區(qū)域)
防護等級IP65(防塵防水)
模塊化檢測系統(tǒng)(核心亮點)
XPS-7II 采用獨特的 "盒式傳感器" 設計,只需更換專用傳感器單元,即可檢測不同的目標氣體:
常見檢測氣體:
氯氣 (Cl?):0-30ppm
氯化氫 (HCl):0-50ppm
氨氣 (NH?):0-100ppm
硅烷 (SiH?):0-10ppm
三氟化氮 (NF?):0-10ppm
砷化氫 (AsH?)、磷化氫 (PH?) 等半導體專用氣體
應用場景
半導體制造業(yè)
晶圓廠氣體管道泄漏檢測
反應腔室、真空系統(tǒng)氣體純度監(jiān)測
特氣柜 (VMB) 周邊安全巡檢
化工與制藥行業(yè)
氯堿廠氯氣泄漏檢測
制藥工藝中特殊氣體監(jiān)控
實驗室有毒氣體環(huán)境監(jiān)測
其他高危工業(yè)環(huán)境
太陽能電池制造(硅烷等易燃易爆氣體)
液晶面板生產(NF3 等特種氣體)
科研機構特殊氣體實驗安全保障
使用方法簡述
根據檢測目標選擇并安裝對應傳感器單元
開機預熱(約 30 秒),設備自動自檢
將采樣管伸向檢測區(qū)域(可連接延長管至數米)
觀察 LCD 顯示的實時濃度值
當氣體濃度超標時,設備發(fā)出聲光振動報警
使用后建議在潔凈環(huán)境中運行 5 分鐘再關機,延長傳感器壽命
總結