新宇宙 XP-703DIII半導體多參數氣體檢測儀是日本 COSMOS 公司 (新宇宙電機株式會社) 生產的便攜式半導體材料氣體檢測儀，專為檢測半導體行業(yè)中使用的微量有毒氣體泄漏設計，可同時檢測多種特種氣體，是半導體工廠安全管理的重要工具。新宇宙 XP-703DIII 是一款專為半導體行業(yè)設計的便攜式多氣體檢測儀，具備超便攜、高靈敏度、多功能保護等特點，能快速檢測 5 種關鍵半導體材料氣體的微量泄漏，是保障半導體工廠安全生產的重要工具。

產品定位與核心功能

檢測對象：半導體工藝中使用的5 種關鍵氣體：

砷烷 (AsH?)：0.2ppm 起檢

磷化氫 (PH?)：0.3ppm 起檢

 (B?H?)：0.1ppm 起檢

硅烷 (SiH?)：0.5ppm 起檢

氫氣 (H?)：1.0ppm 起檢

檢測原理：熱線型半導體式(利用氣體接觸傳感器時引起的電阻變化檢測)

采樣方式：自動吸引式(內置微型泵，主動抽取空氣樣本)

響應速度：10 秒內即可檢測到目標氣體 (濃度達到檢測)

技術參數與性能特點

參數數值說明

尺寸W38×H130×D32mm超便攜設計，一手掌握

重量約 190g (含電池)輕量化，長時間操作不疲勞

電源2 節(jié) 5 號堿性電池更換簡便，隨處可得

續(xù)航時間約 12 小時 (常溫)滿足全天工作需求

檢測精度可達 PPB 級別能發(fā)現極微量泄漏 (10??Pa?m3/s)

防護等級IP22 (配皮套時)防塵防潮，適應工業(yè)環(huán)境

顯示方式LCD 數字顯示 + 雙色指示燈清晰顯示濃度值和報警狀態(tài)

報警方式聲音 (頻率隨濃度增加變快)+ 紅色指示燈便于定位泄漏點

獨特功能亮點

泵自動保護功能：

檢測到異常 (如水進入或探頭堵塞) 時自動停止泵運轉

防止設備損壞，延長使用壽命

恢復按鈕可一鍵恢復正常檢測

自動氣體排氣模式：

關機時自動排出機內殘留氣體

保護傳感器壽命，避免交叉污染

高靈敏度設計：

對等高危氣體檢測下限低至 0.1ppm

可在危險濃度形成前預警，保障人員安全

應用場景

半導體及相關行業(yè)安全監(jiān)測：

半導體制造：擴散、蝕刻、CVD 等工藝設備泄漏檢測

光伏產業(yè)：硅材料生產、太陽能電池制造

科研機構：實驗室特種氣體管理

石油化工：涉及特種氣體的工藝環(huán)節(jié)安全監(jiān)控

電子制造業(yè)：各類使用氫氣等特種氣體的生產線

使用方法 (簡版)

裝入 2 節(jié) 5 號電池

開機自動預熱校準

將探頭靠近待檢測區(qū)域

設備自動抽取空氣檢測

濃度超標時：

紅色報警燈閃爍

蜂鳴器發(fā)出頻率遞增的警報聲 (濃度越高，頻率越快)

LCD 顯示具體濃度值

使用后長按電源鍵 3 秒關機，設備自動排氣

新宇宙 XP-703DIII半導體多參數氣體檢測儀與 SDM-72/73 的對比

特性XP-703DIII (氣體檢測儀)SDM-72/73 (鐵粉濃度計)

檢測對象半導體特種氣體 (氣態(tài))潤滑脂 / 油中鐵粉 (固態(tài)顆粒)

應用領域半導體、光伏等氣體工藝機械設備潤滑系統、旋轉設備

檢測原理熱線型半導體式磁性平衡式電磁感應法

用途氣體泄漏預警，保障生產安全設備磨損診斷，預測性維護

顯示單位ppm (百萬分之一)% 或 ppm (根據型號)