Kanomax 超小型粒子計數(shù)器 3950-00：半導(dǎo)體行業(yè)的 "納米級環(huán)境衛(wèi)士"

產(chǎn)品定位與核心功能

日本加野3950-00塵埃粒子計數(shù)器是一款專為半導(dǎo)體制造和高潔凈度環(huán)境設(shè)計的超小型激光粒子計數(shù)器，能同時精確測量 0.1μm 和 0.3μm 兩種粒徑的懸浮粒子濃度，具有超緊湊體積和輕量化設(shè)計，可作為傳感器直接嵌入生產(chǎn)設(shè)備，實時監(jiān)測半導(dǎo)體工藝環(huán)境中的微污染，是確保芯片良率和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵檢測工具。

技術(shù)規(guī)格與性能參數(shù)

參數(shù)類別詳細(xì)規(guī)格

測量粒徑雙通道同步測量：0.1μm 和 0.3μm

采樣流量2.83L/min (0.1CFM)，精度 ±5%，符合 ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)

可測濃度10,000,000 particles/m3 (10% 重合損失時)

計數(shù)效率0.1μm 粒子：50±20%

0.2μm 及以上粒子：100±10%

顯示系統(tǒng)4.3 英寸彩色液晶觸摸屏，操作直觀便捷

數(shù)據(jù)存儲10,000 組測量數(shù)據(jù)，CSV 格式

通信接口USB(Host/Device)、Ethernet、RS485(MODBUS)

電源AC 100~240V 適配器 

外形尺寸W150×H163×D228mm (約 6×2.5×9 英寸)

重量僅 3.4kg (7.5 磅)，比同類產(chǎn)品輕 40% 以上

使用環(huán)境15~35℃，0~85% RH (無結(jié)露)

革命性設(shè)計特點

1. 小型化與輕量化

體積比傳統(tǒng)粒子計數(shù)器縮小 60%，重量減輕 50%

行業(yè)可直接嵌入半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部，實現(xiàn)工藝點實時監(jiān)控

緊湊設(shè)計不占用潔凈室寶貴空間，便于移動測量

2. 高靈敏度與精準(zhǔn)測量

0.1μm 級檢測能力，專為半導(dǎo)體工藝 (14nm/7nm/5nm) 設(shè)計

光散射測量原理，粒徑分辨率≤15%，重復(fù)性誤差≤5%

偽計數(shù)率 < 1 個 / 35 分鐘，確保數(shù)據(jù)可靠性

3. 多功能智能操作

4.3 英寸觸控屏，支持中英文顯示

多種測量模式：單次、重復(fù) (1~999 次)、連續(xù)、計算

99 個地點標(biāo)記功能，便于潔凈室網(wǎng)格化監(jiān)測

數(shù)據(jù)可直接導(dǎo)出至 PC、打印機或 USB 存儲設(shè)備

工作原理

采用激光散射技術(shù)：

內(nèi)置高精度泵以 2.83L/min 恒定流量抽取空氣樣本

空氣通過采樣口進入測量腔，激光束照射通過的粒子

粒子產(chǎn)生散射光，光電傳感器捕捉并轉(zhuǎn)換為電脈沖

信號處理系統(tǒng)分析脈沖參數(shù)，區(qū)分 0.1μm 和 0.3μm 粒子

微處理器計算單位體積內(nèi)各粒徑粒子濃度并顯示

日本加野3950-00超小型粒子計數(shù)器核心應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體芯片制造（主要應(yīng)用領(lǐng)域）

光刻工藝：監(jiān)測曝光環(huán)境中的超微粒子，防止晶圓缺陷

刻蝕 / 沉積：設(shè)備內(nèi)部粒子監(jiān)控，確保薄膜均勻性

潔凈室認(rèn)證：ISO Class 1~6 級環(huán)境的合規(guī)性測試

設(shè)備集成：直接嵌入半導(dǎo)體生產(chǎn)裝備，實現(xiàn) "原位" 實時監(jiān)測

2. 其他高精密制造

平板顯示：OLED/QLED 面板生產(chǎn)環(huán)境監(jiān)控

光學(xué)儀器：鏡頭鍍膜、精密光學(xué)元件制造

醫(yī)療器械：植入物和精密器械無菌生產(chǎn)環(huán)境

3. 科研與質(zhì)量控制

高校 / 研究所超凈實驗室監(jiān)測

新材料研發(fā)環(huán)境評估

電子元器件生產(chǎn)過程控制

日本加野3950-00塵埃粒子計數(shù)器與其他型號對比（簡版）

特性3950-003887Lite/Pro3905/3910 系列

測量粒徑0.1μm、0.3μm (2 通道)0.3-5μm (5 通道)0.5-10μm (6 通道)

體積重量最小最輕 (3.4kg)中等 (約 500g)較大 (約 8kg)

主要優(yōu)勢超小型化可嵌入設(shè)備多功能便攜測量多粒徑全面分析

適用場景半導(dǎo)體設(shè)備集成、超凈環(huán)境潔凈室常規(guī)監(jiān)測、制藥一般工業(yè)、大型潔凈室